關鍵作業區（如製造區、充填/分裝區）涉及原料、半成品直接暴露於環境，空氣清淨度分級可參考國際標準 ISO 14644-1:2015 或國家標準 CNS 15186-1，定義潔淨室之空氣清淨度等級及檢測方法，以懸浮微粒濃度界定清淨度等級。
檢測方法如下：
(1)依 ISO 或 CNS 標準，決定待測懸浮微粒粒徑大小及限量標準，通常以 0.5 µm 微粒為代表，以潔淨等級 class 8(10萬級)為例，上限濃度為 3,520,000 個/m^3。
(2)決定待測區之取樣點數、位置及空氣取樣量。通常以潔淨室面積考量取樣點數，有對照表可參考；取樣位置需平均分布於待測區，並考量放置點位之代表性；各點空氣取樣量由方程式計算，至少取樣 2L，取樣時間至少 1 分鐘。
(3)使用經校正之微粒子計數器，計算各取樣點懸浮微粒濃度。
(4)對照 ISO 或 CNS 標準之限量規定，所有取樣點皆不超過該限量即符合其潔淨度分級。